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                        徠卡真空鍍膜儀各部件的組成及工作原理

                        更新時間:2022-01-25      點擊次數:2578
                          徠卡真空鍍膜儀包括機架,機架上設有真空室,真空室內設有載物臺;載物臺設置在真空室的上腔體中,真空室的下腔體中設有電蒸發系統,電蒸發系統包括陶封電極,陶封電極包括公共電極及一個以上的負極,公共電極與負極之間連接有鎢體。通過鎢體,依靠電蒸發系統和真空腔室,采用從下往上的蒸發方式,大大的提高了蒸發的效率,可簡單并有效的滿足蒸鍍要求。
                          徠卡真空鍍膜儀各部件的組成及工作原理:
                          一、真空主體--真空腔
                          根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各局部有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
                          二、輔助抽氣系統
                          此排氣系統采用“擴散泵+機械泵十羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。排氣系統為鍍膜機真空系統的重要局部,主要有由機械泵、增壓泵[主要介紹羅茨泵]、油擴散泵三大局部組成。機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用廣泛的一種是低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵吸氣空腔的體積,使被抽容器氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
                          徠卡真空鍍膜儀的監控目前應用方式比較多,主要有:目視監控法,定[極值]值監控、水晶振蕩監控、時間監控等等。幾種監控方法各有優劣,但通常鍍多層膜,會以光學監控為主,石英晶體振蕩為輔助的方法。除此之外,對于有些在鍍膜過程中需要充入氣體的還有流量控制計或者壓力控制計,這些需要采用精細的閥門和光電傳感系統來控制。在鍍膜過程中還需要回轉控制系統,就是將傘具的主軸置于軸承里面,然后再利用電機帶動軸承,使傘具回轉。然后再PLC控制其回轉速度。
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