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                        離子減薄儀的原理和操作說明

                        更新時間:2022-08-08      點擊次數:1292
                        離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度??梢砸暂^小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作,低能量離子槍功能為其所配備,對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備,對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。
                         
                        氬氣的電離采用高壓來進行,在電場是作用下,電離后的氬離子對樣品表面進行轟擊。在氬離子的持續轟擊下,樣品慢慢減薄,一直到使透射電鏡觀察要求滿足,此即為離子減薄儀的工作原理。
                         
                        減簿及觀察:
                         
                        1、對所需的減薄時間進行設定。
                        2、對工作電壓進行設定(通常設定成4或者5Kev)
                        3、對離子槍工作模式進行設定(通常設定成雙離子束調變)
                        4、對左右離子槍工作角度進行調整(通常為±4度)
                        5、將氬氣工作模式調整為自動氣體
                        6、對載臺轉速進行設定(通常是3RPM)
                        7、對啟動進行點擊開始工作。
                        8、在工作期間能夠對Viewing 選項進行點擊,通過CCD來對樣品減薄情況進行觀察。
                        9、樣品穿孔后能夠對低電壓進行更換繼續減薄,一直到薄區良好。
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