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                        真空鍍膜有哪些維護事項

                        更新時間:2022-12-21      點擊次數:745
                          真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
                          真空鍍膜的維護事項
                          1、真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上,應清潔工作室一次。
                          方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。
                          2、當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續工作一個月(雨季減半),需更換新油。
                          方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數秒,使泵內的舊油排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦干凈箱內污垢。
                          3、擴散泵連續使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水清洗干凈,待水份揮發干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵,關好大門,數分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環,無法進入工作狀態。
                         


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