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                        真空鍍膜機常見的幾種故障處理方法

                        更新時間:2023-03-30      點擊次數:1029
                        真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子槍加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
                         
                        常見的幾種故障處理方法:
                         
                        一、檢測不到掩膜夾具翻轉信號:
                         
                        1、檢查翻面信號源位置
                        2、將翻面輸入信號人工短接,使用翻面檢測功能,計算機能檢測到信號時,證明問題在翻面控制開關上,根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路,然后更換控制卡。
                         
                        二、掩膜夾具翻轉不穩定:
                         
                        1、檢查翻板的初始位置是否符合時機
                        2、檢測翻面控制開關工作是否穩定,可用指針萬用表跟蹤監測。
                        3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠
                        4、檢查翻面信號次數設置
                        5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象
                        6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩定性
                         
                        三、在同一掩膜夾具頻率散差大:
                         
                        1. 檢查晶片本身是否散差大
                        2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節修正板
                        3.檢查一下擋板在開、關時是否全遮擋住鉬舟
                        4.檢查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟
                        5.檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟
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